化合物涂层。十年前的时候一次只能沉积一层原子,三年前AMAT公司采用了新技术也仅仅只能沉积三层,不过经过我们改造,现在这个设备可以沉积的层出已经超过了原先设计的层数。
还有离子注入机,我们采取的也是AMAT公司生产的维利安VIISTA系列产品,但是采用的工艺更为高精度、低能量,在整个晶圆表面快速注入高浓度掺杂物,且产品注入系统的技术部署在通用的VIISTA平台之上,这种通用性有助缩短第一次硅晶的时间,提升应用的生产效率。
在操作上,除了之前我们讲解的技术难点之外,其他的都可以由智能辅助系统进行随时校正,当然我更推荐你们佩戴工作专用的SR1眼镜,它的现实增强技术和我们公司的生产设备以及工艺流程都进行了匹配,可以让使用者更直观的看到经过系统推导后,大概率是哪个流程或者数据设置出现了错误。”